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Parylene CVD鍍膜設備販售/租賃

Parylene CVD鍍膜設備販售/租賃

Parylene-AF4 CVD專用鍍膜設備

a.前驅物 : Parylene-AF4 Dimer專用蒸鍍模組

b. 腔體尺寸 : 直徑400mm × 高度400mm

c. 乘載內容 : 12pcs 8” Si-wafer乘載治具

 


 

Parylene-C/N CVD專用鍍膜設備

a. 前驅物 : Parylene-C/N Dimer專用蒸鍍模組

b. 腔體尺寸 : 直徑1200mm × 高度1200mm

c. 乘載內容 : 15層 480mm × 580mm乘載治具